[发明专利]一种边缘环高度测量装置及方法在审
| 申请号： | 202011479359.3 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114639582A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 蔡楚洋;吴狄;连增迪 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/32;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张妍 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种边缘环高度测量装置及方法，包括放在静电吸盘上的带有定位点的承载盘，以及承载盘上的成像设备，通过成像设备多次获取边缘环的图像，然后进行数据处理后计算边缘环的高度或者厚度变化，变化数据有利于对边缘环损耗的调整，利用对不同区域多点的测量能降低误差，不需要破坏原有真空环境，大大降低了因边缘环调整耗费的停滞时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 高度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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