[发明专利]一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具及其制作方法在审
| 申请号： | 202011479796.5 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112553572A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 熊继光;赵志国;秦校军;肖平;赵东明;邬俊波;董超;刘家梁;王百月;冯笑丹;梁思超;王森;张杰 | 申请（专利权）人： | 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 100036 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板卡具及其制作方法，包括卡具骨架和连接在卡具骨架上的若干挡板，相邻两挡板的相对面上设置有高度相同的一套支撑台阶，所述支撑台阶用于支撑放置掩膜板，若干挡板提供的所有支撑台阶中至少包含两套高度不同的支撑台阶，本发明可以在需要蒸镀不同厚度电极时，减少蒸镀次数和蒸镀损耗，以节省时间和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 太阳能电池 真空 蒸镀掩膜 板卡 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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