[发明专利]一种应用于X射线光电子能谱仪的特定气氛内的样品转移装置及应用方法在审
| 申请号： | 202011484825.7 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112630244A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 贾正浩;刘伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2273 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 周媛媛;李馨 |
| 地址： | 116000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于X射线光电子能谱仪的特定气氛内的样品转移装置及应用方法。该技术采用常压环境做保护气体，其中保护气体种类不限制，通过二级过滤仓，可以实现多量XPS样品由XPS准备室外部到内部的全保护气氛转移。本发明装置为实现技术方法并结合XPS仪器的实际条件而相应设计的保护装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 射线 光电子 能谱仪 特定 气氛 样品 转移 装置 应用 方法 | ||
【主权项】：
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