[发明专利]新型化合物、聚合物及其制备方法、光敏性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、电子部件在审
申请号: | 202011486319.1 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN113527101A | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 德米特里·祖巴列夫;浦野宏之;竹村胜也;饭尾匡史;本田和也;河合义夫 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社;国际商业机器公司 |
主分类号: | C07C69/76 | 分类号: | C07C69/76;C07C69/78;C07C219/34;C08G73/10;C08G73/14;G03F7/038;G03F7/039;G03G7/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 张晶;谢顺星 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明的技术问题在于提供一种化合物、使用该化合物得到的聚酰亚胺树脂及其制造方法,所述化合物能够衍生出聚酰亚胺,该聚酰亚胺能够用作不损害机械强度、溶解性等优异的特征,可形成微细的图案且能够获得高分辨率的光敏性树脂组合物的基础树脂。所述化合物的特征在于,由下述通式(1)表示。 |
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搜索关键词: | 新型 化合物 聚合物 及其 制备 方法 光敏 树脂 组合 图案 形成 固化 电子 部件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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