[发明专利]差分式电涡流微位移传感器标定装置、方法、计算机设备和存储介质有效
| 申请号： | 202011487217.1 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112729087B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐正平;冯勇通 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01B9/02018;G01B11/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱炳斐;马鲁晋 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种差分式电涡流微位移传感器标定装置、方法、计算机设备和存储介质。在标定过程中，首先通过调节一维精密调整台，使被测物与两探头之间的距离为零位距离。然后，将被测物与其中一探头之间的距离调至量程最大值，并调节处理电路增益使处理电路输出最大有效值。之后，在整个量程范围内，以指定步长步进调节被测物与探头之间的距离，同步记录双频激光干涉仪给出的距离信息及处理电路输出值，最后通过数据拟合得到差分式电涡流微位移传感器的标定结果。本发明采用双频激光干涉仪测量被测物与探头之间的距离，精度高，能够提高差分式电涡流微位移传感器的标定精度；采用双探头差分测量模式，可有效提高输入输出关系曲线的线性度。 | ||
| 搜索关键词： | 分式 涡流 位移 传感器 标定 装置 方法 计算机 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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