[发明专利]柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备在审
| 申请号： | 202011489439.7 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112695277A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 朱路路;任宇航;罗明新;徐彩军 | 申请（专利权）人： | 尚越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/52;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州知见专利代理有限公司 33295 | 代理人： | 黄娟 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余杭区五*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太阳能电池的处理设备。一种柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备，包括工艺腔，在工艺腔的两侧分别设有收卷腔和放卷腔，工艺腔、收卷腔和放卷腔上均连接有真空泵，待沉积热处理的薄膜依次经过放卷腔、工艺腔和收卷腔，在工艺腔和收卷腔之间设有升降门，在工艺腔和放卷腔之间也设有升降门。本发明提供了一种结构简单，不需要反复对沉积热处理腔进行抽真空，生产效率高的柔性铜铟镓硒薄膜太阳能电池沉积热处理设备结构；解决了现有技术中存在的沉积热处理时，需要反复进行抽真空，生产效率低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 铜铟镓硒 薄膜 太阳能电池 沉积 热处理 设备 | ||
【主权项】：
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