[发明专利]一种六氯乙硅烷提纯装置及方法有效
| 申请号： | 202011490070.1 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112479212B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 张宝顺;宗冰;陈海宝;刘建华;王体虎 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 杜朗宇 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六氯乙硅烷提纯装置及方法，属于六氯乙硅烷提纯技术领域，装置包括依次连通的原料罐、反应器和冷却器；所述原料罐上设有原料进口，且原料罐内部设有加热器；反应器内设有电极，且反应器具有与氯气通入管路适配的气体接口；冷却器上设有采集口。本发明通过电极形成电磁场激励氯气，得到同时含有电子、活性氯自由基、自由分子及辐射光的等离子体，在自由电子、辐射光和活性氯自由基的诱导下，加热后形成的气相五氯乙硅烷先脱去一个氢基，然后再结合一个氯基，进而转变为六氯乙硅烷，在在提高六氯乙硅烷的纯度的同时，提高了六氯乙硅烷的产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 六氯乙 硅烷 提纯 装置 方法 | ||
【主权项】：
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