[发明专利]压接装置和有压烧结设备在审
申请号: | 202011490768.3 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN112735978A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 张西子;王亮;周扬;钱靖;吴灵美;陈显平;喻佳兵 | 申请(专利权)人: | 全球能源互联网研究院有限公司;重庆大学 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 尚志峰;王淑梅 |
地址: | 100000 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种压接装置和有压烧结设备,压接装置包括:底座,底座内设置有容纳腔;压块,设置在容纳腔内,压块能够在容纳腔内沿容纳腔的深度方向滑动;其中,芯片组件位于压块和容纳腔的底壁之间,压块能够将芯片组件压紧在底壁上。本发明的技术方案中,压接装置的结构简单,这样使得压接装置结构可以设计的更加地紧凑,相对于相关技术中的压接装置,体积更小,重量更轻,避免了相关技术中的压接装置造价成本高,场地要求高的问题,从而提高了压接装置使用的便利性,节约了压接装置的制造和维护成本。 | ||
搜索关键词: | 装置 烧结 设备 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造