[发明专利]磁化电子串联共振方法及其装置在审
| 申请号： | 202011492263.0 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114645255A | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 宗坚 | 申请（专利权）人： | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54;C23C16/505;C23C16/52;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种磁化电子串联共振方法及其装置。该磁化电子串联共振方法，包括步骤：在一反应腔内提供射频电压，以使该反应腔内的气体放电产生等离子体，其中该等离子体中的离子在电场的作用下加速轰击在该反应腔内的靶材，使得该靶材表面的离子溅射出来；和调整在该反应腔内形成的磁场的磁感应强度大小，以使该等离子体发生磁化电子串联共振，从而在保持放电功率不变的条件下，使得射频电流最大，进而使得等离子体密度最高，从而放电效率高、溅射率高，便于提高诸如镀膜或刻蚀等产业应用的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 磁化 电子 串联 共振 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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