[发明专利]一种薄膜发电机及其制作方法

摘要

本申请公开了薄膜发电机及其制作方法，该方法包括在基底的第一表面形成预处理压电层；在预处理压电层与基底相背的表面形成第一电极层，并在摩擦层的第一表面形成第二电极层；将带有预处理压电层和第一电极层的基底置于高压电场环境中进行极化，以使预处理压电层形成压电层；利用粘合剂将摩擦层的第二表面的边缘区域与基底的第二表面的边缘区域进行粘接，以在摩擦层和基底除去边缘区域的区域间形成空腔，得到薄膜发电机；基底的第一表面与基底的第二表面相背，摩擦层的第一表面与摩擦层第二表面相背。本申请中基底的两侧分布有压电层和摩擦层，可同时产生摩擦电流和压电电流，增加输出电流，并且采用高压极化的方式形成压电层，提升压电层结晶度。