[发明专利]一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统在审
| 申请号： | 202011493803.7 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112626455A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 于金杰;任宇航;罗明新;马林 | 申请（专利权）人： | 尚越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 杭州知见专利代理有限公司 33295 | 代理人： | 黄娟 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余杭区五*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太阳能电池的处理设备。一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统，包括腔体，在腔体内设有油温鼓，在油温鼓下方设有若干个铜罩，在铜罩与油温鼓之间为卷材通道，所述的铜罩朝向卷材一侧开口，在铜罩内设有靶材和导气管，所述的导气管上连接有气体流量计，所述的导气管上设有气孔。本发明提供了一种形成的羽流状态好，对于不同材料的溅射的可控性强，镀膜均匀效果好的一种柔性CIGS薄膜反应溅射羽流控制的真空系统结构；解决了现有技术中存在的一种溅射羽流不稳定，镀膜不均匀，对于不同材料的溅射可控性差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 cigs 薄膜 反应 溅射 控制 真空 系统 | ||
【主权项】：
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