[发明专利]一种反应腔装置及其工作方法在审
| 申请号： | 202011496224.8 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112447488A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 邱勇;孙晓东 | 申请（专利权）人： | 上海谙邦半导体设备有限公司;上海讯颖电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种反应腔装置及其工作方法，反应腔装置包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体内的晶圆承载平台，所述晶圆承载平台的表面适于放置晶圆；环绕所述晶圆承载平台的缓冲环，所述缓冲环适于延长反应源粒子沿着晶圆表面向外横向运动的路径。所述反应腔装置能够调节晶圆表面的反应速率的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应 装置 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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