[发明专利]对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量有效
| 申请号： | 202011498154.X | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113013015B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | L·G·鲍德温;J·W·史密斯;E·B·麦考雷 | 申请（专利权）人： | 萨默费尼根有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;H01J49/06;H01J49/16;H01J49/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 周全;陈洁 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种对于仪器到仪器可重复性的发射电流测量。本发明描述了一种离子源组件，所述离子源组件包括：电子源，所述电子源被配置为将电子注入到离子体积中以使所述离子体积中的原子或分子电离，其中，所述电子源包括细丝；透镜电极，所述透镜电极位于电子源附近并包括开口，所述开口被配置为使电子从所述电子源穿过所述开口进入所述离子体积；电源电压源，所述电源电压源耦合至所述细丝并被配置为向所述细丝供应第一电压，其中，所述第一电压可操作为使所述离子体积中的分子电离。此外，偏置电压源耦合至所述电源电压源并被配置为向所述透镜电极供应偏置电压。撞击所述透镜电极的电子随后返回到所述细丝。 | ||
| 搜索关键词： | 对于 仪器 重复性 发射 电流 测量 | ||
【主权项】：
暂无信息
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