[发明专利]一种TC-SAW谐振器及制造方法在审
| 申请号： | 202011500791.6 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112653407A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;许欣;柯亚兵 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨洁 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种TC‑SAW谐振器及其制造方法，该谐振器包括：高声速材料的衬底层、位于高声速材料衬底层之上的压电材料为单晶36°YX LiTaO |
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| 搜索关键词： | 一种 tc saw 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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