[发明专利]一种高效钝化结构电池及其制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域，针对现有技术钝化膜致密性和厚度均匀性差的问题，公开了提供一种高效钝化结构电池及其制备方法，包括P型晶硅、设于所述P型晶硅正面的两个正电极和设于所述P型晶硅背面的两个负电极，所述P型晶硅的背面设有SiO2层，所述SiO2层上设有Ga2O3/AlN/Ta2O5叠层钝化膜。本发明背面采用SiO2+Ga2O3/AlN/Ta2O5叠层钝化膜+氮氧化硅＋氮化硅复合钝化膜，通过电池端提升效率，所述Ga2O3/AlN/Ta2O5叠层钝化膜每层膜的固定负电荷密度都不同，且都低于氧化铝，多层叠加可以保证钝化效果的同时，可以缓解正电荷降低钝化带来的不利影像，改善PID。