[发明专利]连续精馏法生产电子级六氯二硅烷的方法有效
申请号: | 202011501755.1 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN112479213B | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 何寿林;罗全安 | 申请(专利权)人: | 武汉新硅科技潜江有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 武汉江楚智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人: | 邓寅杰 |
地址: | 433100 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种连续精馏法生产电子级六氯二硅烷的方法,包括以下步骤:S1:以多晶硅废料为原料生产六氯二硅烷粗料的步骤,所述六氯二硅烷粗料纯度75‑85%;S2:以六氯二硅烷粗料为原料生产电子级六氯二硅烷的步骤。使用本发明方法生产电子级六氯二硅烷,能生产出纯度99.95%以上,以金属元素含量计算纯度达到99.999‑99.99999%的高纯产品,达到欧美市场的要求,且工艺简单。 | ||
搜索关键词: | 连续 精馏 生产 电子 级六氯二 硅烷 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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