[发明专利]一种掩膜版有效

专利信息
申请号: 202011501863.9 申请日: 2020-12-17
公开(公告)号: CN112725728B 公开(公告)日: 2023-04-07
发明(设计)人: 邹敏;韩冰;李文星;周丽芳;李晓玲 申请(专利权)人: 合肥维信诺科技有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;H10K71/00
代理公司: 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 代理人: 成丽杰
地址: 230037 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明实施方式涉及显示技术领域,公开了一种掩膜版,包括:掩膜框架、精细掩膜、支撑掩膜以及掩膜条;掩膜条沿第一方向延伸,且掩膜条在第一方向上的两末端均设有焊接部,掩膜条经由焊接部固定设置于掩膜框架上;精细掩膜包括中心区和围绕中心区的周边区,掩膜条设置在精细掩膜远离掩膜框架的一侧,掩膜条包括正对中心区的开口区,中心区用于固定开口区,周边区部分固定设置于掩膜框架上;支撑掩膜沿第二方向延伸,支撑掩膜设置在掩膜条邻近掩膜框架的一侧,且位于中心区与焊接部之间;其中,第一方向与第二方向相交,支撑掩膜的材质包括非磁性材质。本发明提供的掩膜版能够消除掩膜条在焊接过程中产生的褶皱,提高产品良率。
搜索关键词: 一种 掩膜版
【主权项】:
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