[发明专利]设备应用监控方法、半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202011503927.9 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112559292A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杨园 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F11/30 | 分类号： | G06F11/30;G06F11/32;G06F11/34 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了设备应用监控方法、半导体工艺设备，该方法包括：获取设备应用的监控数据，监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；对于每一个子时间段，在子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和子时间段对应的第一接口调用概率分布信息；显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。本申请实施例提供的技术方案可以自动对设备应用进行监控，降低确定设备应用在代码设计上的问题的成本，以及提升确定设备应用在代码设计上的问题的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 应用 监控 方法 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011503927.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
