[发明专利]干燥空气供给装置及方法在审
| 申请号： | 202011506171.3 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112999830A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 严敏雨 | 申请（专利权）人： | 美康有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/26 | 分类号： | B01D53/26;B01D53/28;B01D46/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;田英爱 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的干燥空气供给装置包括：冷却除湿单元，用于对流入的空气进行冷却并除湿；干燥剂(desiccant)除湿单元，具有用于收容干燥剂的转子，通过使从上述冷却除湿单元供给的空气经过上述转子来进行除湿；温度调节单元，用于对经过上述干燥剂除湿单元的空气进行冷却或加热；以及供给流路，其为了向上述缓冲空间供给经过上述温度调节单元的空气而延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 空气 供给 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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