[发明专利]一种大口径柔性光学超构表面结构的加工方法在审
| 申请号： | 202011507346.2 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112558419A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;蒲明博;高平;李雄;马晓亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大口径柔性光学超构表面结构的加工方法，通过光刻系统曝光光刻胶并显影制备设计的大口径超构表面图形；将该光刻胶图形作为掩模将图形转移到基底材料上，并作为模板；把混合有高折射率纳米颗粒的紫外固化胶涂覆在模板上并覆盖一层柔性基底，采用辊轴一边施加机械压力一边利用紫外灯曝光的方式固化紫外固化胶，然后脱模分离即可得到大口径柔性光学超构表面结构。本发明具有工艺流程简单、分辨率高、成本低、制备效率高等特点，适用于大面积柔性超构表面器件的加工领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 柔性 光学 表面 结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
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