[发明专利]制冷系统及温控系统在审
| 申请号： | 202011507609.X | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112594980A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 宋朝阳;冯涛;靳李富;董春辉;常鑫;芮守祯;何茂栋;曹小康 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | F25B41/40 | 分类号： | F25B41/40;F25B41/20;F25B39/00;F25B49/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 周琦 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及制冷系统及温控系统，制冷系统包括冷却装置和循环液装置，所述冷却装置包括压缩机、冷凝器、蒸发器和第一热交换器，所述压缩机的出口、所述冷凝器的放热通路、所述第一热交换器的吸热通路、所述蒸发器的放热通路、所述第一热交换器的放热通路与所述压缩机的入口依次连通形成制冷剂回路，所述蒸发器的吸热通路与所述循环液装置连通。通过增加第一热交换器，从而增加过冷度，增加制冷量，增加过热度，减少压缩机回液，提高压缩机可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 制冷系统 温控 系统 | ||
【主权项】：
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