[发明专利]一种高声速高频高性能的窄带滤波器在审
| 申请号： | 202011508259.9 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN112653421A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;许欣;柯亚兵 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H11/04 | 分类号： | H03H11/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨洁 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高声速高频高性能的窄带滤波器，包括：高声速材料衬底层、低声速材料层、高声速材料压电层、以及设在压电层上的电极。衬底层和低声速材料层共同形成布拉格反射层。压电层采用c轴单晶AlN,大幅提高了器件功率耐受性，低声速层采用特殊切向的LGS，利用LGS的弱压电特性，可以获得高声速高频高Q值窄带滤波器。同时单晶AlN与LGS二者热膨胀系数匹配，会提高二者之间的薄膜接合强度，高温时二者不易剥离。本发明实现了高工作频率、高功率、高Q值、低插损的滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声速 高频 性能 窄带滤波器 | ||
【主权项】：
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