[发明专利]研磨头、化学机械研磨装置及化学机械研磨方法在审
| 申请号： | 202011509919.5 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113001395A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 山本胜利 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/015;B24B37/30;B24B37/005;B24B49/16;H01L21/306;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;司昆明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 研磨头(40)具备保持晶圆(W)晶圆保持部件(44)、设置于晶圆保持部件(44)的晶圆(W)侧的支承垫(46)、设置于晶圆保持部件(44)和支承垫(46)之间来测定支承垫(46)的温度的温度测定机构(47)。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 化学 机械 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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