[发明专利]芯片CP测试中DELP系列探针台驱动配置方法在审
申请号: | 202011515315.1 | 申请日: | 2020-12-18 |
公开(公告)号: | CN112666448A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 王锐;娄建和;吴彩平 | 申请(专利权)人: | 江苏艾科半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人: | 田沛沛;邱兴天 |
地址: | 212000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种芯片CP测试中DELP系列探针台驱动配置方法,包括归类针卡分布图,为每一类分布图配置对应的驱动程序;根据归类情形制作包含所有驱动程序的列表和批处理文件;执行批处理文件,选择驱动程序编号,批处理程序则自动向测试机主机操作系统注册所用的探针台驱动;空跑CP测试,得到探针台晶芯坐标和测试机晶芯坐标,进行坐标比对,确认无误后,进行晶圆CP量产测试。采用本发明的驱动配置方法,可保证CP测试坐标完全匹配、测试机台从探针台可获取正确的晶圆位置坐标,进而可以正常进行芯片晶圆的CP测试;采用一个批处理即可处理9类驱动注册的方式,简化了操作人员的操作,且节省测试成本。 | ||
搜索关键词: | 芯片 cp 测试 delp 系列 探针 驱动 配置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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