[发明专利]隔热材料及其制备方法、隔热部件和电子设备

摘要

本申请涉及一种隔热材料及其制备方法、隔热部件和电子设备，属于隔热材料技术领域。一种隔热材料的制备方法，包括采用原子层沉积法在基材上循环沉积氧化锆形成氧化锆膜层，在氧化锆膜层上沉积氧化钇得到氧化钇掺杂氧化锆膜层，重复上述步骤以得到具有一定厚度的隔热材料。其中，氧化锆的沉积循环数为m，氧化钇的沉积循环数为n，m:n＝15:(1‑9)。该制备方法能够制得具有共性的隔热材料，薄膜致密且厚度仅有30‑120nm，热传导率低，为1.0‑2.0W·m‑1k‑1，可应用于电子设备，可有效降低终端设备的尺寸及提高设备隔热性能。