[发明专利]一种硅烷的自动充装系统有效
| 申请号： | 202011518165.X | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN112648529B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 张鑫;陶刚义 | 申请（专利权）人： | 内蒙古兴洋科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/00 | 分类号： | F17C7/00;F17C5/00;F17C13/04;F17C13/02;F17C13/00;F17D1/04;F17D3/01;F17D5/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 姜海荣 |
| 地址： | 010400 内蒙古自治区鄂尔*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅烷的自动充装系统，系统包括充装瓶和充装自动控制部；充装自动控制部包括充装瓶连接管路、硅烷充气管路和功能控制管路；功能控制管路上并联有放空管路、抽真空管路和在线分析管路；控制方法包括置换模式、充装模式和检漏模式；本发明采用全自动控制的气动阀，通过自动在线控制和数据采集监测，能够实现硅烷充装瓶的钝化、在线检漏、完全置换、充装前分析、充装硅烷、充装后分析及不合格充装瓶处理过程全自动化运行等操作，直接避免员工由于误操作造成的损失，填补了硅烷系统智能充装的空白，在保证硅烷充装效率的同时，最大限度地减少了人为干预和可能出现的操作误差、确保员工及生产安全，避免事故的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 自动 系统 | ||
【主权项】：
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