[发明专利]一种改善晶圆破片的激光退火设备及其使用方法

摘要

本发明提供一种改善晶圆破片的激光退火设备及其使用方法，卡盘，位于卡盘上的晶圆；晶圆上方设有挡板，挡板的一侧边缘为半圆弧形，该半圆弧形与晶圆的上半部分嵌合；并且晶圆上半部分边缘被所述挡板遮住；挡板的半圆弧形的边缘为锯齿状结构；位于晶圆与挡板上方的WPC照相装置，该WPC照相装置用于监测晶圆与所述挡板的嵌合度，并用于调整晶圆的位置。本发明在激光退火设备的挡板和晶圆的正上方增设WPC照相装置，捕捉晶圆和挡板半圆弧形边缘之间的距离并将晶圆位置自动调整至最优点，使得晶圆与半圆弧形边缘完全嵌合，可以避免激光扫到晶边导致破片，而且同时可以改善激光退火的均一性。