[发明专利]一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法有效
| 申请号： | 202011523862.4 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112592663B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 徐明艳;代克;豁国燕;冯兵强;马亚飞 | 申请（专利权）人： | 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 张丽 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开一种SiC衬底加工用纳米金刚石抛光液及其制备方法，属于超精密研磨抛光技术领域，所述抛光液由以下重量份数的原料组成：水50‑85份；金刚石微粉0.5‑15份；分散剂0.1‑5份；悬浮剂0.1‑5份；润滑剂1‑40份；消泡剂0.001‑0.1份,金刚石微粉粒度10‑1000nm，所述金刚石微粉中，耐磨磨粒/圆形磨粒颗粒数比值为1‑15:1，其中，圆度Fc＞0.950为圆形磨粒；0.900≤Fc≤0.950为耐磨磨粒。所述抛光液通过控制金刚石微粉的形貌构成，在耐磨磨粒提高抛光效率的同时，借助圆形磨粒修复表面损伤层和粗糙度，从而实现对抛光划伤的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sic 衬底 工用 纳米 金刚石 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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