[发明专利]一种钒钨合金靶坯的制备方法有效
| 申请号： | 202011525482.4 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112760538B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李苛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22C27/02 | 分类号： | C22C27/02;C22C1/04;B22F3/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钒钨合金靶坯的制备方法，所述钒钨靶坯中以质量百分含量计包括：11‑19％W，余量为钒；所述制备方法包括如下步骤：(1)将钒粉和钨粉按配方进行混合，之后装入模具中；(2)放入炉中并抽真空，之后进行热压烧结，得到所述钒钨合金靶坯。本发明提供的制备方法，通过对靶坯中钒和钨配比的重新设计，采用特定的烧结工艺实现了致密度≥98.79％的钒钨合金靶坯的制备，利用该靶坯制备的靶材进行溅射时，具有优异的溅射性能，溅射过程中可避免异常放电等现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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