[发明专利]含双鎓盐结构的光致产酸剂、制备方法及光刻胶组合物有效
| 申请号： | 202011526905.4 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112592303B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 齐国强;顾大公;毛智彪;许从应;余绍山;许东升 | 申请（专利权）人： | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C07C321/30 | 分类号： | C07C321/30;C07C319/20;C07C303/32;C07C309/04;C07C309/30;G03F7/004 |
| 代理公司： | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种含双鎓盐结构的光致产酸剂，其结构通式如下(I)所示： |
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| 搜索关键词： | 含双鎓盐 结构 光致产酸剂 制备 方法 光刻 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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