[发明专利]应用于真空腔室中的电连接件、静电卡盘和半导体设备有效
| 申请号： | 202011529112.8 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112736522B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 史全宇 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01R13/02 | 分类号： | H01R13/02;H01R13/24;H01R24/00;H01J37/32;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了应用于真空腔室中的电连接件、静电卡盘和半导体设备，其中，真空腔室中设有相对的第一接线柱和第二接线柱，电连接件设置于第一接线柱和第二接线柱之间，该电连接件包括：第一导电部，与第一接线柱相对设置，能够接触或远离第一接线柱；第二导电部，与第二接线柱接触连接；位于第一导电部和第二导电部之间的可伸缩导电结构，可伸缩导电结构、第一导电部和第二导电部形成密封空腔；可伸缩导电结构，用于在大气环境下处于压缩状态，且第一导电部远离第一接线柱；在真空环境下能够伸长，且第一导电部与第一接线柱接触。本发明的电连接件，在大气环境下，电连接件处于压缩状态，电路断开，在真空环境下电连接件能够伸长，实现电路导通。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 空腔 中的 连接 静电 卡盘 半导体设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011529112.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
