[发明专利]一种铝钪合金靶材的成型方法在审
申请号: | 202011529707.3 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN112695283A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周友平;冯新印 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B21J5/02;C22C21/00 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种铝钪合金靶材的成型方法,所述成型方法包括:将铝钪合金靶坯和锻模进行加热,之后将加热后的铝钪合金靶坯放入到喷涂有助剂的锻模进行锻压,得到铝钪合金靶材。本发明提供的成型方法,通过对成型工艺的设计,采用的模锻的方式,并且在锻造之前进行加热,解决了铝钪合金靶材在成型过程中开裂的问题,显著的提高了靶坯的利用率,节省物料成本及提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 合金 成型 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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