[发明专利]一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011530916.X | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112564546A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;王保志;张成功;董璇 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | H02N2/18 | 分类号： | H02N2/18;H02N2/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵继明 |
| 地址： | 201418 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种设有镂空部的压电能量采集器及其制备方法，方法包括：S1：获取硅基板，对该硅基板进行清洗以及干燥处理；S2：获取PZT压电层，分别在步骤S1获取的硅基板上侧和PZT压电层的下侧镀接金属层；S3：将硅基板和PZT压电层的金属层共晶键合；S4：对PZT压电层的上侧进行研磨减薄至预设的厚度范围；S5：在硅基板的下表面进行刻蚀得到凹槽；S6：采用KrF准分子激光器在凹槽区域进行镂空处理，形成镂空部，得到最终的压电能量采集器。与现有技术相比，本发明具有工艺步骤少、加工过程简单、固有频率低、功率输出高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设有 镂空 压电 能量 采集 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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