[发明专利]一种绑定设备及其控制方法有效
| 申请号： | 202011534830.4 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112654229B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王广炎;张作军;冯晓庆;刘晏;何烽光;刘正勇 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | H05K13/04 | 分类号： | H05K13/04 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种绑定设备及其控制方法，涉及微电子加工设备领域，旨在解决绑定设备在高频运动过程中引起的内部振动影响绑定精度的问题。该绑定设备包括：第一直线导轨，设置于基座上；主运动平台，设置于第一直线导轨上；第一驱动装置，用于驱动主运动平台运动；第二直线导轨，设置于主运动平台上，且与第一直线导轨同向设置；工作末端，设置于第二直线导轨上，工作末端的整体质量小于主运动平台的整体质量；第二驱动装置，用于驱动工作末端运动；控制装置，分别与第一驱动装置和第二驱动装置连接，用于控制主运动平台在第一直线导轨上运动，并控制工作末端在第二直线导轨上做往复运动。本发明用于微电子装备的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 设备 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥欣奕华智能机器有限公司，未经合肥欣奕华智能机器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011534830.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种财务云协同管理系统
- 下一篇：一种光缆式超快光纤激光器
