[发明专利]一种硅基楔形波导微环腔及其制备方法有效
| 申请号： | 202011535001.8 | 申请日： | 2020-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN112269223B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈福胜;孙昊骋;高俊;车驰骋;王建波 | 申请（专利权）人： | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/13;G02B6/132;G02B6/136;G02B6/138;G02B6/293 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 高兰 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅基楔形波导微环腔，包括直波导（a）、波导微环腔（b），所述波导微环腔（b）横截面为等腰梯形，所述波导微环腔（b）中心设置有边缘为楔形的圆形微盘（c），所述波导微环腔（b）与所述圆形微盘（c）间设置有环形窗口（d），所述波导微环腔（b）下方开设有空腔（e），所述空腔（e）使波导微环腔（b）为悬空状态，使所述圆形微盘（c）为部分悬空状态；所述直波导（a）为埋入式条形波导,所述直波导（a）与所述波导微环腔（b）相互侧向耦合。本发明的硅基楔形波导微环腔的微环腔截面为梯形，侧壁散射损耗较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 楔形 波导 微环腔 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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