[发明专利]微机电系统装置、其制法与使用其的整合式微机电系统在审
| 申请号： | 202011535133.0 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN113086939A | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 张恒中;黄芝杰;蔡智雅;林靖渊 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电系统装置、其制法与使用其的整合式微机电系统，其中该微机电系统装置包含一基板，基板具有至少一接点。微机电系统装置也包含一第一介电层，第一介电层设置于基板上。微机电系统装置还包含至少一金属层，金属层设置于第一介电层上，且至少部分金属层电连接于接点。微机电系统装置包含一第二介电层，第二介电层设置于第一介电层与金属层上并具有一凹槽结构。微机电系统装置也包含一结构层，结构层设置于第二介电层上并具有一开口。开口对应于凹槽结构设置，且开口的底部的截面积小于凹槽结构的顶部的截面积。微机电系统装置还包含一填充层，填充层至少部分设置于开口与凹槽结构中。第二介电层、结构层与填充层界定一空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 制法 使用 整合 式微 机电 | ||
【主权项】：
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