[发明专利]一种高分辨率光刻胶组合物及其应用有效
| 申请号： | 202011536992.1 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112650023B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 徐娟;王猛;周建 | 申请（专利权）人： | 上海彤程电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;G03F7/004;C08F8/36;C08F212/14;C08F212/08;C08F220/18 |
| 代理公司： | 北京鼎德宝专利代理事务所(特殊普通合伙) 11823 | 代理人： | 马冠群 |
| 地址： | 200000 上海市奉贤区上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种高分辨率光刻胶组合物及其应用，包括如下质量份的原料组分：10‑30份酚醛树脂、1‑20份光敏增强树脂、1‑3份光敏剂和70‑100份有机溶剂。本发明所述光刻胶组合物通过加入光敏增强树脂来优化感光性能，从而使所述组合物具有更高分辨率，适用于触控屏、平板显示器、集成电路等多领域的微细加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高分辨率 光刻 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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