[发明专利]一种正性光刻胶组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 202011537008.3 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112650025B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 徐娟;周建;王猛 | 申请（专利权）人： | 上海彤程电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京鼎德宝专利代理事务所(特殊普通合伙) 11823 | 代理人： | 马冠群 |
| 地址： | 200000 上海市奉贤区上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种正性光刻胶组合物及其制备方法，包括如下质量份数的原料组分：二氧化钛改性酚醛树脂10‑30份、光敏剂1‑5份、有机硅流平剂0.1‑0.3份和有机溶剂40‑70份；其中，所述二氧化钛改性酚醛树脂为分子链接枝有纳米二氧化钛的酚醛树脂。本发明所述光刻胶组合物正性光刻胶组合物在光辐照成像时具有感光速度快、分辨率高、线条边缘粗糙度小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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