[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 202011537032.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112684661B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 徐娟;王猛;周建 | 申请（专利权）人： | 江苏穿越光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/016 |
| 代理公司： | 深圳市洪荒之力专利代理有限公司 44541 | 代理人： | 李向丹 |
| 地址： | 221000 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种光刻胶组合物及其制备方法，包括：酚醛树脂、重氮类感光化合物和有机溶剂；其中，所述酚醛树脂包括线性酚醛树脂和二氧化硅改性酚醛树脂。本发明所述光刻胶组合物中通过提高成膜树脂的耐热性和粘附性，使所得光刻胶膜的光刻精度得到有效提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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