[发明专利]半导体制造系统的调度方法

摘要

本发明涉及一种半导体系统的协同调度方法，基于BPNN‑PSO的优化关系模型来表达制造系统状态与权重参数之间的关系，包括提供知识工作者在日常调度中获得的认知调度知识，选择应该作为调度规则重点的因素，并设计调度规则；选择以半导体生产行业为重点的性能指标，并将其作为制造系统的评估标准；选择影响生产系统性能的生产线的两个重要量化状态，并将其用于后续的优化模型；根据一系列方程式计算调度优先级；建立优化模型以获得优化的权重参数，并设定和预测更优的性能。本发明建立了一个具有自我优化和协作能力的人机协作调度框架，具有六个权重参数的协作调度规则(CDR)，以结合人类知识和机器学习的优势。