[发明专利]倾斜斐索波数扫描干涉仪有效
| 申请号： | 202011539920.2 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112762817B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 周延周;李谦谦;古宇达 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02004 | 分类号： | G01B9/02004;G01B11/24 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 张金福 |
| 地址： | 510090 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种倾斜斐索波数扫描干涉仪，通过半导体激光器、准直调节镜、参考镜、远心镜头、光谱图像采集器和数据处理部件的设置，基于激光电流波数扫描测量原理实现了测量透镜三维轮廓信息，省去了现有干涉仪中使用的分光棱镜或者半透半反射镜，使结构更加简易，具有很好的稳定性；同时，本发明提供的倾斜斐索波数扫描干涉仪使被测镜和参考镜在同一侧，极大的提高了信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 倾斜 斐索波数 扫描 干涉仪 | ||
【主权项】：
暂无信息
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