[发明专利]一种耐刻蚀光刻胶组合物在审
| 申请号： | 202011541244.2 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112631071A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 徐娟;周建;王猛 | 申请（专利权）人： | 阜阳申邦新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/022 |
| 代理公司： | 合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184 | 代理人： | 马捷 |
| 地址： | 236400 安徽省阜阳市临泉县邢塘街*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种耐刻蚀光刻胶组合物，其原料包括：10‑35重量份的复合酚醛树脂、1‑8重量份的重氮类感光剂、30‑65重量份的有机溶剂；所述复合酚醛树脂由线型酚醛树脂、金属改性酚醛树脂组成。通过特定方法把金属引入到酚醛树脂的主链结构中，获得金属改性酚醛树脂，将其以特定配比与线型酚醛树脂配合作为基体树脂，用于光刻胶组合物，体系相容性好，在不影响光刻胶其他性能的基础上，提高了耐刻蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 光刻 组合 | ||
【主权项】：
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