[发明专利]电容式换能装置及其制造方法有效

专利信息
申请号: 202011542239.3 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112657816B 公开(公告)日: 2022-06-28
发明(设计)人: 邱品翔;黄泰翔;邱炜茹;陈政翰;李文渊 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: B06B1/02 分类号: B06B1/02
代理公司: 北京市立康律师事务所 11805 代理人: 梁挥;孟超
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种电容式换能装置,包括基板、下电极、振荡元件、上电极、第一镀膜层以及多个第二封孔部。下电极配置于基板。振荡元件包括振荡部、连接部以及多个穿孔。振荡部借由连接部连接于下电极以形成空腔。上电极配置于振荡部。第一镀膜层包括保护部以及多个第一封孔部。保护部形成于振荡部上以覆盖上电极。多个第一封孔部配置于基板。在第一方向上,多个第一封孔部与多个穿孔重叠,其中第一方向垂直于基板的延伸方向。多个第二封孔部配置于多个封孔以与相对应的多个第一封孔部形成多个封孔结构,其中多个第一封孔部与多个第二封孔部的材料不同。
搜索关键词: 电容 式换能 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
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