[发明专利]一种室内应用的弱光型铜铟镓硒太阳能电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种室内应用的弱光型铜铟镓硒太阳能电池的制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底上沉积Mo背电极；（2）在Mo背电极上共蒸法沉积CIGS光吸收层；（3）在CIGS光吸收层上沉积缓冲层；（4）在缓冲层上磁控溅射沉积高阻i‑ZnO层或ZnxMg(1‑x)O层，以及ITO层或AZO层；（5）利用气氛炉对铜铟镓硒太阳能电池进行退火；（6）制备CIGS柔光电池的上电极，获得弱光型铜铟镓硒太阳能电池；（7）对弱光型铜铟镓硒太阳能电池进行切割、封装，最终获得成品。本发明制备的弱光型铜铟镓硒太阳能电池在较低的光照度下具有良好的光电性能，属于环境友好型产品，非常适合作为室内弱光太阳能电池进行使用。