[发明专利]转接板及其制作方法,半导体器件及其制作方法在审
申请号: | 202011542989.0 | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN112736031A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 田斌 | 申请(专利权)人: | 海光信息技术股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L23/538 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 衡滔 |
地址: | 300392 天津市滨海新区天津华苑*** | 国省代码: | 天津;12 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请提供一种转接板,转接板制作方法,半导体器件及半导体器件制作方法,该转接板制作方法包括:将硅桥固定在第一载板上,硅桥与第一载板接触的表面具有第一及第二连接垫,第一及第二连接垫通过硅桥内部的导线电连接;在第一载板及硅桥上形成第一介电层,第一介电层包裹硅桥,第一介电层包括相对的第一及第二表面,第一表面与第一载板接触;自第二表面向第一介电层内部形成第一及第二导电柱,第一及第二导电柱位于硅桥的两侧且均截止于第一载板;移除第一载板,得到转接板。本申请提供的转接板制作方法无需预先制作容置硅桥的凹槽,且制成的转接板中硅桥的第一连接垫,第二连接垫与第一导电柱及第二导电柱靠近第一载板的端面齐平,便于一次性焊接。 | ||
搜索关键词: | 转接 及其 制作方法 半导体器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造