[发明专利]转接板及其制作方法,半导体器件及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202011542989.0 申请日: 2020-12-23
公开(公告)号: CN112736031A 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 田斌 申请(专利权)人: 海光信息技术股份有限公司
主分类号: H01L21/768 分类号: H01L21/768;H01L23/538
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 衡滔
地址: 300392 天津市滨海新区天津华苑*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 本申请提供一种转接板,转接板制作方法,半导体器件及半导体器件制作方法,该转接板制作方法包括:将硅桥固定在第一载板上,硅桥与第一载板接触的表面具有第一及第二连接垫,第一及第二连接垫通过硅桥内部的导线电连接;在第一载板及硅桥上形成第一介电层,第一介电层包裹硅桥,第一介电层包括相对的第一及第二表面,第一表面与第一载板接触;自第二表面向第一介电层内部形成第一及第二导电柱,第一及第二导电柱位于硅桥的两侧且均截止于第一载板;移除第一载板,得到转接板。本申请提供的转接板制作方法无需预先制作容置硅桥的凹槽,且制成的转接板中硅桥的第一连接垫,第二连接垫与第一导电柱及第二导电柱靠近第一载板的端面齐平,便于一次性焊接。
搜索关键词: 转接 及其 制作方法 半导体器件
【主权项】:
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