[发明专利]供电电路、半导体加工设备和供电控制方法在审
| 申请号： | 202011543645.1 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN112670960A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王广永;闫亮;宋俊超;刘东旭 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H02H7/20 | 分类号： | H02H7/20;H02H3/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种供电电路、半导体加工设备和供电控制方法，该供电电路包括切换模块、延时模块和开关模块，其中，切换模块用于在伺服模块断电时，将电源与延时模块接通；延时模块用于在通电时开始计时，并在经过第一指定时长之后，将切换模块与开关模块接通，以使开关模块通电；开关模块用于在通电时接收控制器发送的控制信号，并根据控制信号将延时模块与伺服模块接通，以使伺服模块通电，且在经过第二指定时长之后断开；伺服模块在通电后触发切换模块将电源与延时模块断开，同时将电源与伺服模块接通。本发明实施例提供的供电电路、半导体加工设备和供电控制方法，可以避免出现伺服模块因频繁通电而烧毁以及伺服模块非预料中通电等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 供电 电路 半导体 加工 设备 控制 方法 | ||
【主权项】：
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