[发明专利]一种自驱动微流道散热系统及其制造方法在审
| 申请号： | 202011544705.1 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112670255A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈钏;李君;曹立强 | 申请（专利权）人： | 上海先方半导体有限公司;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/38 | 分类号： | H01L23/38;H01L23/40;H01L35/10;H01L35/34 |
| 代理公司： | 上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313 | 代理人： | 张瑞莹;张东梅 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区自*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种自驱动微流道散热系统，包括微流道热沉，泵以及冷却器，其中微流道热沉包括热电元件，热电元件形成温差发电机，为泵提供电能，驱动泵工作，使得冷却液在冷却器、微流道热沉之间循环流动，实现散热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 微流道 散热 系统 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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