[发明专利]一种铝钪合金靶材及其制备方法与应用在审

专利信息
申请号: 202011547239.2 申请日: 2020-12-24
公开(公告)号: CN112725745A 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 吴道高;陈德宏;王志强;庞思明;徐明磊;钟嘉珉;钟强;王育民;程军 申请(专利权)人: 有研稀土高技术有限公司;有研稀土新材料股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;B22F3/14;B22F5/00
代理公司: 北京中创云知识产权代理事务所(普通合伙) 11837 代理人: 肖佳
地址: 065200 河北省廊坊市三河市燕郊高*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 一种铝钪合金靶材及其制备方法与应用,将金属铝和金属钪进行合金化,得到铝钪母合金;采用甩带快淬法将所述铝钪母合金制成铝钪合金薄带;对所述铝钪合金薄带进行破碎制粉、筛分,得到铝钪合金粉末;对含有所述铝钪合金粉末的原料进行热压烧结、加工,得到铝钪合金靶材。该方法得到的铝钪合金靶材致密度高、成分均匀,晶粒细化、达到微晶级(尺寸<10μm),氧质量百分比含量控制在0.05%以内,整个制备工艺操作简单、易产业化、成本低。
搜索关键词: 一种 合金 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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