[发明专利]基于干涉法的液晶光学移相检测系统以及检测方法有效
| 申请号： | 202011547847.3 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112731694B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 汪相如;黄帆;张梦雪;贺晓娴 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;G02F1/29 |
| 代理公司： | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于干涉法的液晶光学移相检测系统及方法，系统结构为：激光光源发出的光经过二分之一波片后被第一偏振分光棱镜后分成两束偏振方向相互垂直的线偏振光；其中一束线偏振光照射到液晶光学相控阵样品上，再经第一反射镜反射后射入第二偏振分光棱镜；另一束线偏振光经第二反射镜反射后射入第二偏振分光棱镜；第二偏振分光棱镜对两束入射光进行合束，并将合束后的光束依次经过四分之一波片和检偏器后照射到电荷耦合元件的靶面上，电荷耦合元件与计算机控制中心相连。本发明确定了样品的绝对相位延迟量，实现了对二维液晶移相器件进行高精度、高分辨率、快速、自动的检测，提高了检测相控阵相位分布的分辨率和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 干涉 液晶 光学 检测 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011547847.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
