[发明专利]侧向复合光栅DFB激光器结构及应用有效
| 申请号： | 202011555716.X | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN112688164B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 郑婉华;徐远博;渠红伟;王明金;王天财;刘文振;周旭彦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12;H01S5/20;H01S5/22;H01S5/042;H01S5/065 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 郭梦雅 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种侧向复合光栅DFB激光器结构及应用，该侧向复合光栅DFB激光器结构包括N面电极层；N型波导层，设置在N面电极层上；有源层，设置在N型波导层上；P型波导层，设置在有源层上，包括未刻蚀P型波导层、脊波导和高阶表面侧向光栅，脊波导和高阶表面侧向光栅均设置在未刻蚀P型波导层上，高阶表面侧向光栅设置在脊波导两侧，狭槽区域设置在高阶表面侧向光栅与脊波导的连接处；以及P面电极层，设置在脊波导上。本发明通过在高阶表面侧向光栅与脊波导的连接处附近引入狭槽进行电隔离，可以减少电注入时侧向光栅造成的载流子泄漏，从而降低激光器的阈值电流密度，提高斜率效率，有利于实现窄线宽和高功率激光输出。 | ||
| 搜索关键词： | 侧向 复合 光栅 dfb 激光器 结构 应用 | ||
【主权项】：
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